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更新日期：2024-03-22
簡(jiǎn)要描述：
日本ulvac換能器類(lèi)型皮拉尼真空計(jì)SP1傳感器單元 (SP1) 是 G-TRAN 系列皮拉尼規(guī)型測(cè)量單元。傳感器單元采用觸針和電路部分一體化的結(jié)構(gòu)（觸針可更換），是適合降低成本和節(jié)省空間的真空計(jì)。
日本ulvac換能器類(lèi)型皮拉尼真空計(jì)SP1
傳感器單元 (SP1) 是 G-TRAN 系列皮拉尼規(guī)型測(cè)量單元。
傳感器單元采用觸針和電路部分一體化的結(jié)構(gòu)（觸針可更換），是適合降低成本和節(jié)省空間的真空計(jì)。
特征
傳感器規(guī)格：不需要壓力指示器時(shí)、降低真空計(jì)成本、節(jié)省控制面板周?chē)目臻g、節(jié)省布線(xiàn)等。
輕松更換觸控筆
燈絲材料使用耐腐蝕鉑。
您一直使用的觸控筆（SP1：WP-01、02、03、16）可以原樣使用。
可以輸出兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
SP1：壓力為0～5V輸出（非線(xiàn)性輸出）
電源電壓：可使用DC24V輸入
用途
用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的過(guò)程控制
用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空區(qū)域的過(guò)程控制
用于在線(xiàn)型和單晶片型等具有許多工藝室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的工藝控制
日本ulvac換能器類(lèi)型皮拉尼真空計(jì)SP1
規(guī)格
| 類(lèi)型 | 傳感器單元 |
| 模型 | SP1 |
| 自適應(yīng)探頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
測(cè)量精度 | ±15%（51Pa 至 760Pa） |
| ±30%（10Pa 至 1000Pa） | |
| ±50%（0.4Pa 至 3000Pa） | |
| 工作溫度限制 | 10 至 40°C |
| 采樣時(shí)間 | 50ms 5次移動(dòng)平均處理 |
測(cè)量值輸出 | 非線(xiàn)性輸出：DC0-5V (Max.10V) |
| （更新時(shí)間） 50 毫秒 | |
| (分辨率) 10mV | |
| 設(shè)定點(diǎn) 1/2 調(diào)整的輸出 | 非線(xiàn)性輸出：DC 0-5V (Max.10V) |
| 控制輸出信號(hào) | 集電極開(kāi)路，負(fù)邏輯 |
| 錯(cuò)誤信號(hào) | |
| 設(shè)定點(diǎn) 1/2 | |
| LED顯示屏 | 功率、誤差、設(shè)定值 1/2 |
| 電源電壓 | DC24V±2V, 90mA (Max.) |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15P（M2.6螺絲） |
| 身體質(zhì)量 | 190g（不含觸控筆） |
配件 | 輸入/輸出連接器 1套 |
| 快速手冊(cè) 1 份 |
